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2真空泵抽氣率：泵的抽速單位為m3/s或L/s，是指泵裝有標準試驗蓋，在規(guī)定條件下工作時，從試驗蓋流出的氣體流量與在試驗蓋指定位置測得的平衡壓力之比。稱為泵的泵送速度。
3.真空泵抽氣量：Ebara荏原真空泵維修的抽氣量單位為pam3/s或PAL/s，指泵入口處的氣體流量。
荏原真空泵EBARA維修1真空泵的極限壓力Ebara 荏原真空泵維修的極限壓力單位為PA，即泵在入口裝有標準的測試蓋，在規(guī)定的條件下工作，在正常運行下趨于穩(wěn)定，不引入氣體。
2真空泵抽氣率：泵的抽速單位為m3/s或L/s，是指泵裝有標準試驗蓋，在規(guī)定條件下工作時，從試驗蓋流出的氣體流量與在試驗蓋指定位置測得的平衡壓力之比。稱為泵的泵送速度。
3.真空泵抽氣量：Ebara荏原真空泵維修的抽氣量單位為pam3/s或PAL/s，指泵入口處的氣體流量。
4真空泵啟動壓力：真空泵啟動壓力單位為PA，指泵啟動時無損壞，具有抽氣作用的壓力。
5泵前級壓力：真空泵原壓力單位為PA，指排氣壓力低于一個大氣壓的真空泵出口壓力。
6真空泵前級壓力大：真空泵口前級大壓力單位為PA，指前級壓力超過泵損壞。
7真空泵大工作壓力：真空泵大工作壓力單位為PA，為*大抽氣量對應的入口壓力。在這種壓力下，泵可以連續(xù)工作而不變質(zhì)或損壞。
8壓縮比：壓縮比是指給定氣體的泵出口壓力與入口壓力之比。
9He系數(shù)：根據(jù)分子滲出量計算出的抽運通道面積上的實際抽運速度與理論抽運速度的比值。
10泵速系數(shù)：泵的實際泵速與根據(jù)泵入口分子流計算的理論泵速之比。
11泵的回流流量單位為g/cm2。S、 泵在規(guī)定條件下工作時，通過泵進口的單位面積泵流量的質(zhì)量流量。
12水蒸氣允許單位為kg/h，是指在正常環(huán)境條件下，氣體壓載泵連續(xù)運行時所能抽出的水蒸氣質(zhì)量流量。